密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />

日本电影神宫寺A级黄色片_天堂在线观看视频_欧美一级爽爽在线播放_域名停靠app大全免费下载网站入口黄页糟老头_亚洲一成a人无码av波多野_日逼软件下载_国内久久久黄色毛片_美女被内射的网站_中文字幕日韩不卡一区二区三区_人人九九精品国产

全國咨詢熱線:027-81293223
產品中心
PD-ALD200D雙腔室熱型原子層沉積設備
產品摘要
雙腔室熱型原子層沉積設備可沉積HfO2、ZrO2、Al2O3、SnO、MgO、FeO、TiO2等及其三元復合薄膜如HZO、AZO;等。可適用多片堆疊工藝,內腔可整體拆卸方便清理保養。
產品介紹

設備特點:

★反應內腔和外腔配置獨立高性能MKS真空計,可實時觀察ALD工藝過程中壓強變化和內外壓強差

★自動控制軟件,操作簡單;具有CDA報警以及防溫度失控硬件保護功能,保障ALD工藝安全性

設備參數:

樣品臺:8英寸樣品臺雙腔室反應腔,兼容210×210 mm方形樣品,樣品臺空間高度100mm,可適用多片堆疊工藝

加熱均勻性:真空內輻射加熱,樣品溫度可加熱到400℃,反應區域空間溫度在200℃時均勻性≤±2℃,溫度控制精度±0.5℃

前驅體源:配置6路前驅體源:其中4路加熱金屬源、1路水前驅體源和1路臭氧前驅體源

★沉積非均勻性:8英寸內沉積50nm氧化鋁非均勻性≤±1%


在線客服
聯系方式

熱線電話

15308651978

上班時間

周一到周五

公司電話

15308651979

二維碼