密相輸送是氣流輸送固體粉粒體輸送物料的過程,如果管線中顆粒流的密度接近于臨界流化狀態下的床層密度,則稱為密相輸送密相渝送所需要的氣體流量小,一般單位質量的空氣所輸" />

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產品中心
PD-450/600H熱絲化學氣相沉積設備
產品摘要
該設備采用熱絲法化學氣相沉積技術,主要用來生長金剛石膜、類金剛石膜、氮化硅和氧化硅膜等。該設備適合于小批量生長大尺寸片狀多晶金剛石厚膜、刀具表面生長金剛石膜、納米金剛石膜等。
產品介紹

設備特點:

★升降結構平穩,樣品臺水平度好,利于生長較均勻厚膜絲架采用特殊結構,熱絲的平行度好能長期穩定工作

★更合理的氣路布局及更貼合生產工藝的細節考慮,可長期穩定工作

★軟件配置西門子PLC+10寸西門子觸摸顯示屏,操作界面友好,所有操作均可在觸摸屏上完成

★實現φ100-300mm基片范圍內均勻沉積

設備參數:

腔體尺寸:φ450×H350mm/φ650×H500mm

基片臺:150mmx150mm/200mmx200mm

溫度:熱絲溫度1800℃-2500℃襯底溫度600℃-1000℃,電源型式專用熱絲電源15/25kw


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