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設備特點：
★廣泛應用于蒸發金、銀等貴金屬材料的電極制備，適合半導體剝離工藝，節省蒸鍍材料
★系統配置上配備了脂潤滑無油分子泵可任意角度安裝，縮短抽氣管道提高了抽速，節約樣品制備時間
★可升級不停泵放氣功能，可實現全自動控制功能
設備參數：
★腔體尺寸（L×W×Hmm)：300×300×400
★設備尺寸（L×W×Hmm)：530×750×1800
★真空極限：優于（5E﹣05）Pa
★抽速保壓：（8E﹣04）≤30min保壓12小時≤5pa
★膜厚均勻性優異（±3％~±5%），重復性優異（±3％~±5%）
★基片臺：≤100mm×100mm
★蒸發源：可搭配2～4組蒸發源（兼容金屬與有機），可共蒸或切換蒸發
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