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設備特點：
★結構設計緊湊，布局合理；合理利用空間且方便檢修。
★設備配備小車進料出料，方便快捷，節省鍍膜生產時間。
★樣品架移動加偏壓設計，提高膜層結合力。
★雙軌道設計穩定可靠，即使在高溫環境下小車各室傳遞及運動也能平穩勻速，從而保證薄膜質量。
設備參數：
★整機尺寸：3.6（L)×1.2（W)×1.8（H)（單位M）
★真空室（三/五腔室）（L×W×Hmm)：2600x2200x450mm
★真空極限：（2E﹣04）Pa
★濺射靶：800×120×7mm 2-4支根據實際需要選擇配備
★樣品加熱：加熱溫度≥300℃，控制精度±1度，均勻性±5°
★有效濺射面積：670mm×80mm
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