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★系統組成：電動取樣桿+進樣腔+工藝腔
★基片尺寸：300mm x 300mm
★蒸鍍方式：樣品臺旋轉式
★進樣腔：可放4片樣品
★工藝腔 配置4個40cc 點源，滿足BCP，C60，LiF，金屬蒸鍍
★膜厚均勻性：
真空：9×10-5 Pa小于24小時之內
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